技术编号:10364018
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。目前晶体生长炉,尤其上称重提拉法晶体生长炉都离不开一个重要系统一籽晶杆系统,如图所示从上端称重头的上端开始到籽晶杆下部末端的多段材料连接而成,为籽晶杆系统,至少包含称重头、籽晶杆、籽晶、生长的晶体等多个部分。籽晶杆系统上端固定,下端悬挂籽晶和晶体。晶体生长炉中籽晶杆系统在晶体生长的过程中存在两个问题(— )晃动籽晶杆系统长度较长且直径又较小,轻微的震动容易引起籽晶杆杆的晃动,从而造成晶体的晃动。因籽晶杆系统末端无阻尼,晃动发生后维持时间长,影响晶体内部结构...
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