一种mems惯性测量组合测量电路的制作方法技术资料下载

技术编号:10368181

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MEMS惯性技术广泛应用在工业、医疗、通讯、汽车、无人机等各种市场,现有国外的MEMS陀螺仪的精度大致在l°/h?50°/s范围内,MEMS加速度计精度大致在1mg?0.0lmg范围内,启动时间在0.1?1s范围内。国内MEMS惯性技术发展相对滞后,精度相对国外产品还有较大差距,陀螺仪精度勉强达到10° /h,且存在体积较大,指标衡量标准与国外不一致等问题。由于MEMS元件相对于其他类型惯性元件的精度还比较低,所以由MEMS元件构成地惯性测量组合的精度较低...
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