技术编号：10370463
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在晶硅太阳能电池片的制绒工序中，原硅片经过HF、HN03、H20的混合酸液腐蚀后，硅片的下表面相对于上表面有更低的反射率、更均匀的绒面大小与深度，从而采用制绒下表面作为扩散面，相比较上表面扩散面，电池片效率更高。制绒过程采用自动化方式下料，硅片经过传送带，进入硅片承载盒，下表面会与承载盒侧边相接触，若承载盒边缘有灰尘、酸碱残留等杂质，容易沾染到硅片的下表面上。在扩散工序中，800°C以上的高温使杂质中心成为缺陷富集处，导致方阻异常、酸碱高温下腐蚀硅片表面形...
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