用于单晶硅切割的清洁装置的制造方法技术资料下载

技术编号:10379613

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单晶硅棒在切割时,由于残渣和碎肩会停留在切缝中而使得单晶硅棒的切割无法继续进行,此时需要暂停单晶硅棒的切割并对残渣和碎肩进行清理。现有清理方式是拿着气吹对割缝进行吹气,吹走残渣和碎肩。但是由于单晶硅棒处于切割机内部,割缝不好寻找,也不好对准,造成清除时时间占用过长,清洗效果差。实用新型内容实用新型目的本实用新型针对上述现有技术存在的问题做出改进,即本实用新型公开了用于单晶硅切割的清洁装置。技术方案用于单晶硅切割的清洁装置,包括冲气头和空气栗,所述冲气头为长...
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