技术编号：10383406
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。“MO源”即高纯金属有机化合物或化合物半导体微结构材料，是先进的金属有机化学气相沉积(简称MOCVD)、金属有机分子束外延(简称MOMBE)等技术生长半导体微结构材料的支撑材料，其优异的电学、光学和磁学等性能，可将半导体和集成电路推向更高的频率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。其中主要MO源品种有三甲基镓(CH3)3Ga TMGa、三乙基镓(C2H5)3Ga TEGa、三甲基铟(CH3)3In TMIn等。对于三甲基镓源合成时，传统使用液体卤代烷生产M...
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