技术编号：10383657
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。业内习知，MOCVD设备是半导体制备的重要装备，由于半导体具有特殊的光电性能，广发地被用在1C、太阳能电池、大功率器件等领域，为保证半导体气相沉积的稳定性，需要MOCVD装备具有较强稳定性，托盘在半导体材料生产过程中扮演载体的角色，按照工艺设计速度进行旋转、停止是半导体生产重要的保障。发明内容本实用新型的目的在于克服现有技术的不足与缺点，提供一种MOCVD反应腔室用的无相差转盘结构，保证托盘能够无相差跟随金属驱动盘随动、随停。为实现上述目的，本实用新型所提...
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