技术编号：10391670
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。由于LED具有节能、环保、光色易调等诸多优点，近年来LED在照明领域得到了飞速发展。越来越多的传统照明灯具被LED灯代替，并取得了很好的效果。在半导体制造领域中，有一种刻蚀技术一一光刻，被广泛应用。为了避免其他灯光对光刻曝光过程的干扰，曝光过程一般都在一个相对密闭的环境中进行，而光刻室内的灯光需要把500nm以下的短波长光去除，因此光刻室通常呈黄色，俗称黄光室或黄房。目前半导体制造黄光室所用的黄灯大多是在传统的荧光灯管内壁涂上一层黄色的荧光粉，利用黄色荧光...
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