一种微光学波分复用组件结构的制作方法技术资料下载

技术编号:10421704

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在40G和100G光模块中,光学模块需要对2路或4路不同波长的光进行合波或分波,通常要对玻璃基板的公共端(Co_ port)进行镀制增透膜,达到减少损耗的目的。这种结构对镀膜工艺要求高,特别是在同一个面上分别镀制高反膜和增透膜,对镀膜掩模的工艺要求非常高,目前基于微光学平台技术的波分复用组件是主流的技术方案,现有的这类技术方案的基本结构如下以玻璃基板作为光信号传输载体,玻璃基板的其中一侧面分别镀有高反射膜(HR膜)和增透膜(AR膜),另一侧面粘贴两个滤波片...
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