技术编号:10428724
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。随着国民经济高科技发展,人们对气体纯度的要求越来越高。半导体工业提供了一个对超高纯生产气体的需求不断增加的具体例子,在半导体的制造时,反应性气体的纯度对半导体器件的品质具有很重要的影响。为了满足这些需求,人们对气体超高纯化的方法进行了广泛的科技研究。超高纯气体通常是通过以下方法制得的使用具有纯化器的纯化系统,对生产气体进行处理,从中除去杂质。目前,大部分的研究和开发努力都集中在纯化器中的介质上,并且己经能够使气体纯度达99.999 %,但是在一些情况下,纯...
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