技术编号：10430479
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及激光钻孔加工，具体涉及一种旋转对称轴平行的旋转光束组钻孔系统。背景技术目前的激光钻孔，在一个钻孔位置上的钻孔，基本都是从激光光源的脉冲重复频率的提高、激光光束整形、光束扫描的速度的提高几个方面考虑，对于激光光源的脉冲重复频率的提高，已经从当初几十千赫兹提升到一兆赫兹或者更高;激光光束整形则被更多人尝试，主要是平顶光斑的应用;光束扫描已经从振镜扫描提升到电光扫描、声光扫描、高速旋转扫描等，但是电光扫描与声光扫描在器件的热稳定性变化带来的扫描位置...
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