技术编号:10451672
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 现有机构提供研磨压力主要由气压或直接调节研磨头与面板Panel间的空隙Gap 值。这两种方式均不能起到精确控制研磨压力的作用。气体从管路中释放出来后,压力衰减 很快,作用与Panel表面时压力值不固定,压力存在波动性,对研磨效果调试不利。 其中,对Panel的研磨采用气压作用于研磨带的模式,气体压力衰减严重,不易精 确控制。导致Panel各区域压力分布不均衡,存在波动性,量化管理困难;另外一种直接调整 研磨Gap的模式不能有效调整研磨头对Panel的直接...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。