技术编号:10461606
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。真空紫外波段的光谱(波长200nm以下)在空气中传播时,会被空气中的氧气、水蒸气等物质吸收而无法传播,其采集、测量必须在真空系统或惰性气体环境下进行。采用真空系统的方式对光谱进行采集、测量,需要将系统抽真空,这就使得光谱仪必须具有很高的结构强度,且还会带来功耗、噪音等诸多不便之处。若采用惰性气体环境,一般采用吹扫或循环的方式,吹扫是在光谱仪工作过程中一直用惰性气体吹扫光路空间,此方式需要大量的惰性气体,浪费多、成本高,吹扫时间长,启动慢;循环是在光室内部充...
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