基于tdlas的痕量气体浓度检测装置的制造方法技术资料下载

技术编号:10461942

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痕量气体是指体积浓度远远小于I%的气体,如大气中的碳氧、氮氧、硫氧的化合物等,其含量在ppm-ppb量级范围,精确测量这些痕量气体的组分、含量及其随时间、空间的分布变化,无论在环境保护还是在工业过程的系统优化和安全生产等方面都具有十分重要的意义。目前气体监测有两大类方法化学分析法和光谱分析法,化学法主要有色谱分析法,质谱分析法以及色谱-质谱联用分析法等,具有很高的灵敏度,测量结果的可信度高,但响应速度慢,无法在线应用。光谱法红外吸收法、差分光学吸收光谱技术...
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