技术编号：10464098
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。近年来，随着微电子技术、微纳米技术、宇航工程、精密工程、生物工程等学科的迅速发展，众多科技领域如光学、仪器仪表、精密机械制造、材料科学等都急切需要定位精度和分辨率高的精密微位移技术。精密微位移技术的迅速发展，使微型精密仪器及系统开始由实验室成功地走向市场，并且已形成了一种新的产业，而这些产业的快速发展也不断地向精密微位移技术和设备提出了更新、更高的要求，比如要求更快的定位速度、更高的分辨率、更好的稳定性等。基于压电驱动的柔性放大机构具有运动平滑、无需润滑、...
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