技术编号:10464170
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。LED照明产业技术发展的基石是衬底材料,目前能用于LED照明生产的衬底主要时蓝宝石衬底,通常,GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上,蓝宝石衬底有许多的优点,首先,蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好;其次,蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;最后,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗。因此,大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底,随着白光LED照明进入到每个家庭逐步取代了传统照明,对蓝宝石衬底的要求越来越高,一般的蓝宝石衬底的固定性较差,出...
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