技术编号:10468024
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。目前,多晶硅锭的制备方法主要是利用GTSolar提供的定向凝固系统进行制备,该方法通常包括加热、熔化、长晶、退火和冷却等步骤。在凝固长晶过程中,通过对顶部温度和侧边保温罩开度进行控制,使得熔融硅液在坩祸底部获得足够的过冷度凝固结晶。但由于在长晶初期,坩祸底部属于各向同性结构,硅液结晶时初始形核不能得到有效控制,存在晶粒尺寸分布不均匀(从几十微米到十几厘米)、位错密度高等问题,越来越难以满足市场对于高效率硅片的需求; 针对常规铸锭方式所产生的多晶硅锭存在位...
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