一种基于mems的电容式红外气体传感器及其制备方法技术资料下载

技术编号:10470162

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气体检测技术在日常生活及生产的应用范围越来越广泛,具体集中在矿井勘测、大气污染监测、化工产业监测、废水处理装置等方面。矿井勘测包括勘探到石油和煤气、运输、储存和精炼,都会产生大量易燃和有毒气体,所以气体检测常应用在勘探钻井、生产平台、煤气末站等场合。如今空气污染严重,气体检测技术能够及时准确地监测人类生存环境的空气质量指数,并提供城市空气污染情况预报;化工厂是气体探测设备最大的用户之一,在其生产过程中,会产生各式各样的易燃性和毒性气体,所以气体检测技术常被...
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