技术编号:10470172
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。目前,商用的气体传感器大多是半导体传感器或者电化学传感器,输出信号一般为电信号,尺寸一般为厘米级以上。由于输出的是电压或电流信号,往往受外界干扰大,导致传感器误差大、测量精度不高,因此在实际应用中还需要配套电路,例如I/V转换、前置放大电路等。半导体气体传感器在测量之前往往还需要长时间的预热,才能保证较高的测量精度,而且响应速度较慢。发明内容针对上述现有技术的不足,本发明提供一种尺寸小、精度高、抗干扰性强和可远程测量的基于绝缘体上硅光波导的表面等离子体共振...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。