一种超高反射率光学扫描振镜及其制备方法技术资料下载

技术编号:10470439

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扫描振镜是一种优良的矢量扫描器件,它配有两个反射镜(扫描镜),用计算机控制反射镜的反射角度,这两个反射镜可分别沿X轴和Y轴扫描,达到激光束的偏转,使具有一定功率密谋的激光聚集点在材料上进行标记。目前多数厂家生产的扫描振镜的外形是圆形、方形或异形,而且它们的重量大会影响到系统的扫描速度和重复定位精度。现有的扫描振镜通常是镀金膜加S12保护,由于金质软容易划伤,且其附着力差,镀膜成本较高。现有的介质膜反射镜的反射率高、附着力好,但它反射带宽较窄,对于单波长激光...
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