一种绝缘栅型光电导开关的制作方法技术资料下载

技术编号:10472581

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由超短脉冲激光触发的光电导开关(photoconductive semiconductor switch, 缩写PCSS)是一种低抖动、超宽带、抗电磁干扰的高功率开关器件,按照光生载流子是否雪 崩倍增分为两种工作模式一-线性模式和高倍增模式(也称非线性模式或锁定模式)。传统 的光电导开关由阳极、半绝缘衬底、阴极组成,所述半绝缘衬底通常是引入深能级杂质或缺 陷对低电阻率的半导体晶体进行高度补偿而获得的,如铁渗杂的氮化嫁(GaN化)和饥渗杂 的碳化娃(SiC...
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