反向传导半导体装置的制造方法技术资料下载

技术编号:10476038

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在US8212283B2中,如描述采用双模式绝缘栅晶体管(BIGT)形式的现有技术的反向传导绝缘栅双极晶体管(RC-1GBT)(在图1中示出),其包括在共同晶圆100上的续流二极管和绝缘栅双极晶体管(IGBT),所述晶圆的部分形成具有第一掺杂浓度和基极层厚度102的(n_)掺杂基极层101AC-1GBT包括集电极侧103和发射极侧104,而集电极侧103布置在晶圆100的发射极侧104的对面。基极层厚度102是具有第一掺杂浓度的晶圆100的那个部分的集电极...
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