技术编号：10481669
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。例如，在扫描型电子显微镜、集束离子束装置等的真空装置中，当从预备试样室向试样室的试样工作台运送试样时，使用试样运送棒。试样运送棒需要至少从预备试样室向试样工作台运送的运送距离的长度，在试样运送时以外，处于从预备试样室突出的状态。因此，存在作业者与从预备试样室突出的试样运送棒接触的可能性。因此，提出了能够在试样运送时以外收纳试样运送棒的各种试样运送机构。例如在专利文献I中公开了这样构成的试样运送机构在预备排气室的端部设置与试样运送棒成为一体的旋转单元，在试样...
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