技术编号:10482037
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。纳米结构的制备为纳米器件功能化的实现做好了器件准备,其中,基于简单纳米结构的组装能够实现功能的定向化和多元化要求,是纳米制备科学的重要发展方向之一。目前,纳米结构的组装研究主要采用自上而下和自下而上的两条路径。其中自上而下路径中,主要是基于已有宏观尺度材料的微加工,包括各种刻蚀方法,如化学刻蚀、离子束刻蚀、激光刻蚀等方法。该方法可以在很大程度上实现目标的定向化加工,已经取得了器件化应用的成就。但是,该种方法目前存在的主要挑战是加工精度需要进一步提高和昂贵加...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。