包含旋转部件的沉积膜形成装置的制造方法技术资料下载

技术编号:10484119

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发光二极管(LEDLight Emitting D1de)作为将电流转换成光的半导体发光元件,广泛使用于包括信息通信设备在内的电子装置的显示图像用光源。特别是,与白炽灯、荧光灯等传统照明不同,其将电能转换成光能的效率高,最高可以节省90%能量,随着周知该事实,作为能够代替荧光灯或白炽灯泡的元件而受人瞩目。这种LED元件的制造工艺大致可以分为外延工艺、芯片工艺、封装工艺。外延工艺是指使化合物半导体在基板上外延生长(epitaxial growth)的工艺,芯...
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