技术编号:10486681
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 分子束外延是一种在超高真空环境中进行材料生长的方法,能够制备超薄层材料 以及交替生长不同组分、掺杂的薄膜形成超薄量子结构材料。在分子束外延生长过程中,一 种或几种组分的热原子束或分子束喷射到加热的衬底表面,与衬底表面反应,沉积生成薄 膜材料。在分子束外延中,衬底表面的温度是最重要的材料生长参数之一。通过调节衬底表 面温度,可以改变原子或分子在衬底表面的迀移速率和表面自由能,从而控制其生成材料 的方式。所以,精确获得衬底表面温度对材料的生长动力学研究和材料...
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