一种利用聚焦离子束制备大尺寸透射样品的加工方法技术资料下载

技术编号:10486881

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微尺度下材料所表现出来的性能特点与宏观块体材料有着明显的区别,例如在力学性能上表现出越小越强的现象,这一点激发了众多学者的研究兴趣。随着研究的深入,人们需要观察微尺度材料内部组织结构的变化,而传统机械研磨方式制备透射样品的方法不适用于微尺度试样,从而限制了微尺度材料的研究。近年来,材料学者利用聚焦离子束(FIB)并装载原位纳米操纵杆附件(Omniprobe)用来制备微尺度试样的透射样品。即在不破坏微尺度试样完整性并且不改变内部组织结构的前提下,利用聚焦离子...
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