技术编号：10487038
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。光学元件广泛用于各种精密仪器，亚微米级甚至纳米级的颗粒均会对整个光学系统造成严重影响，造成光学表面存在缺陷，对于光学表面颗粒检测，目前较为有效的是激光散斑法，该方法具体如下激光器发出的激光通过透镜转化成平行光，照射在光学元件表面上，产生的散射光信号通过电荷藕合器件图像传感器传人计算机，再进行图像处理的方法得到激光散斑图，由激光散斑图得到光学元件表面颗粒检测结果，其缺点是只能对某已固定区域进行快速检测，对于较大范围的区域无法快速有效的检测，而由于工作距离较远...
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