技术编号：10490660
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在半导体部件、平板显示器等的制造过程中使用了基板液体处理装置，该基板液体处理装置利用蚀刻液(处理液)对半导体晶圆、液晶基板等基板进行蚀刻处理。以往的基板液体处理装置具有处理液贮存部，其贮存用于对基板进行处理的处理液;处理液供给部，其向处理液贮存部供给处理液；以及处理液循环部，其使处理液贮存部中贮存的处理液循环并进行处理液的加热等。而且，基板液体处理装置使多个基板浸渍在处理液贮存部中贮存的处理液中并利用处理液来对基板进行液体处理。另外，基板液体处理装置通过处...
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