技术编号:10490666
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。随着石油、煤炭等不可再生能源的日益枯竭,太阳能、风能等新能源得到了新的发展机遇。在硅片电池的生产过程中,需要将硅片(即石英片)从盛放硅片的花篮中取出,然后每两片背对背合在一起将其插入石英舟中进行扩散工艺。石英舟是一种可用于承载硅片的工具,由石英构成。石英舟包括底棒和相互平行的多个侧棒,底棒上设有朝向石英舟内侧的齿槽,侧棒上设有朝向石英舟内侧的齿槽,通过底棒的和侧棒的齿槽将硅片插入石英舟中。由于硅片厚度较小,因此为了防止硅片在石英舟内晃动,石英舟底棒上的齿槽...
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