技术编号：10491693
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。随着科学技术的发展，微型驱动技术在超精密机械及其制造、精密测量、探测救援、生物医疗等学科领域中占据越来越重要的地位，各种形式各异的具有精密驱动、精密定位的新型驱动器被陆续开发出来。伴随着压电驱动技术的发展，以压电陶瓷为核心功能材料的驱动器在超精密定位驱动领域脱颖而出。压电陶瓷驱动器具有能量密度大、响应速度快、分辨率高、抗电磁干扰、耐低温真空环境等优势。然而，现有的压电式微型驱动器结构复杂、加工困难，由于压电陶瓷的变形量小，因此驱动能力较差，并且多为刚性结构...
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