技术编号:10493194
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。已知的是,在10—2Pa和I Pa之间的低压范围内利用空心阴极电弧放电等离子体可以获得很高的、数量级为112 Cm—3的载流子密度。如果在层沉积时形成层的颗粒遭受这样的等离子体,那么可以获得有利的层特性。为此如下装置是已知的,在这些装置中蒸汽特别是针对较大的涂覆面积和高的涂覆速率可以通过以下方式有效地被激活,即空心阴极等离子体仅被用于等离子体激活。这些装置的等离子体放电以直流电来运行。除了空心阴极之外为了生成等离子体所需的阳极在这样的装置中部分地与蒸发设备...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。