技术编号：10493582
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在制造例如半导体元件、太阳能电池元件等制品的过程中，进行将块状的硅锭(硅材料)切断为预先规定的尺寸的切片工序。在该切片工序，在利用例如线锯切断装置切断硅锭时使用冷却剂。在切片工序使用后的使用过的冷却剂中包含硅切削肩。使用过的冷却剂使用冷却剂再生装置来再生为能够再利用的状态(例如专利文献I)。冷却剂再生装置具备膜分离组件。被贮存在处理罐的使用过的冷却剂被供给至膜分离组件，在膜分离组件分离为成为再生冷却剂的膜过滤液和包含不能通过中空纤维膜等膜的硅切削肩的浓缩液...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。