压力测定装置的制造方法技术资料下载

技术编号:10494214

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压力测定装置被构成为例如搭载在车辆上的高压传感器,被用于发动机的燃料压力、制动液压、各种气体压力等的测定。作为现有的压力测定装置,已经提出了例如专利文献1、2中记载的装置。在专利文献I中,记载了“在受压用金属隔膜的隔膜面通过低熔点玻璃层接合平板玻璃,在该平板玻璃上载置应变仪半导体芯片并将上述平板玻璃和应变仪半导体芯片进行阳极接合而形成的压力检测器”。另外在专利文献2中,记载了“一种压力传感器,其通过利用第I接合面接合在传感器元件上、利用第2接合面接合在形成...
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