技术编号：10499970
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微探针是微纳精密测量仪器的核心组成部件，在微细加工及精密测量领域具有广泛应用。针对微细加工及精密测量对检测仪器的精度要求，微探针尖端应具有较高的形貌质量。激光加热法是目前比较先进的一种微探针尖端热加工方法。现有的微探针激光加工技术主要有申请号为201510275772.0的发明专利公开的一种微探针尖端成形激光加工技术，其特征是利用激光束在微探针尖端的一侧进行热加工，依靠微探针尖端的热传递使尖端熔化成形。发明内容上述一种微探针尖端热加工方法只能对探针尖端的一...
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