技术编号：10505095
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微流动体系是微机电系统比较活跃的一部分，微流动体系由微型栗、微型阀、微型传感器等微流体元件组成，而微型栗作为微流动系统的动力源即执行元件，是微流动系统发展水平的重要标志。目前，随着人们对微观世界的了解与深入，人们迫切期望得到能够精确为微量气、液体提供输送的装置，于是很多学者分别采用不同的加工方法、栗体材料、驱动方式、及封装方式制作出多种类型的微型栗。微型栗可以分为机械式驱动和非机械式驱动两大类，机械式驱动可分为双金属、电磁、热气、静电、压电、记忆金属、压电...
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