化学机械抛光浆液的制作方法技术资料下载

技术编号:10506427

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过去对于不诱钢金属材质表面的化学机械抛光处理,皆利用酸性蚀刻或腐蚀作用 所施加之化学力或是利用较坚硬耐磨的颗粒(如氧化侣、碳化娃或氧化娃等)于金属表 面上所施加之机械力来达成表面平坦化之效果。在美国专利US20140127983A1与Kao et al.于一公开文件"Advances in Materials Science and Engineering 之 Synthesis and Characterization of Si02Nanoparti...
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