技术编号：10512200
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 在半导体制造的过程中，每个工艺流程都可能包括几百个工艺步骤，而每个工艺 步骤都可能重复出现在一个或者多个工艺流程中。在新建工艺流程的过程中，或者在已有 的工艺流程中增加一道工序时，需要在工艺流程中添加每个工艺步骤的工艺步骤编码，通 过顺序执行每个工艺流程中的工艺步骤编码所对应的工艺步骤实现工艺流程。 现有技术在工艺流程中添加每个工艺步骤的工艺步骤编码时，只能功过手动添 加，对每个工艺步骤进行工艺步骤编码的匹配，当一个工艺流程包含很多个工艺步骤时，需 要大...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
请注意，此类技术没有源代码，用于学习研究技术思路。