一种复合相变薄膜材料及其制备方法技术资料下载

技术编号:10514144

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随着多媒体计算机网络在全球的延伸和普及,客观上要求储存介质需要有更大的容量与更快的读写速度。相变存储器与现有的商业化非挥发性存储器相比有相当大的优势。Ge2Sb2Te5是目前大家公认的、研究最多、最为成熟的相变材料,但是,其较低的结晶温度和较差的热稳定性使得GST的数据保持力不尽人意,存在很多有待改善和提高的地方。例如,Ge2Sb2Te5薄膜的晶化温度只有160°C左右,仅能在85°C的环境温度下将数据保持10年。其次,Ge2Sb2Te5薄膜在20mw的脉...
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