技术编号：10517916
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 机电系统(Electromechanical system，EMS)装置包含具有电及机械元件(例如， 致动器、光学组件(例如，镜面、快门及/或光学膜层)及电子装置)的装置。EMS装置可以多种 尺度来制造，包含（但不限于）微尺度及纳米尺度。举例来说，微机电系统 (microelectromechanical systems，MEMS)装置可包含具有范围为约一微米到数百微米或 更大的大小的结构。纳米机电系统(NEMS)装置可包含具有小于一微米的大小(例如，包...
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