技术编号：10526083
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。参阅图1，现有的一种微元件，例如电容感测元件，包含一下电极层91、一介电层92、一上电极层93及一金属层94。下电极层91材质为低阻值娃。介电层92材质为二氧化硅形成于下电极层91上且具有多个空腔921。上电极层93材质为低阻值硅，一般以晶圆接合方式与介电层92连接。金属层94形成在上电极层93上且为导电金属。金属层94与上电极层93 —起图案化而形成多个上电极单元95，相邻的上电极单元95以沟槽96间隔开而互相绝缘。然而，由于上电极层93与介电层92之间...
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