技术编号：10526185
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 硅片多线切割是太能能企业生产晶体硅的重要工序之一。在多线切割过程中所使 用的碳化硅、聚乙二醇经一次使用后，即变成混合废浆料，每吨废浆料中约含碳化硅〇. 20-0.45吨，聚乙二醇0.23-0.55吨，硅微粉0.03-0.10吨，黑色泽大于80%APHA，重金属含量、悬 浮物、灰份等指标均超标，如不回收利用，不仅会严重地损耗有限的资源和能源，而且对环 境会造成严重污染。 众所周知，碳化硅具有高强度、良好的导热性、抗氧化性、化学稳定性、低密度等优 点，是催化...
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