技术编号：10529207
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。ITO透明导电薄膜是一类既透明又导电的特殊功能性薄膜，具有禁带宽、可见光谱区内光的透射率高和电阻率低等共同的光学和电性能，目前广泛用于显示器、各种光电电子器件、触摸屏、防辐射、建筑的节能保温、交通工具上的防雾除霜和太阳能等众多领域。ITO透明导电薄膜的工业化生产通常采用物理气相沉积法。ITO透明导电薄膜的工业化生产通常采用物理气相沉积法或者化学气相沉积法制备。ITO透明导电薄膜为了满足薄膜高的光学透过率和低的表面电阻的光电指标，在薄膜沉积时就必须使得所沉积...
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