技术编号:10532263
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。精密位移检测是实现工业自动化的关键基础技术,被广泛用于数控机械加工装备、工业机器人、精密分析仪器等领域。根据运动类型,位移检测可分为直线位移检测与旋转角度检测。根据运动自由度,位移检测又可分为单自由度和多自由度检测,其中以基于笛卡尔坐标系的三自由度直线位移检测应用最为广泛,如用于多轴加工中心、三坐标测量机、3D打印设备等。为此,当前的主流方案是通过三个直线位移传感器的正交组合加以实现,所用的直线位移传感器有光栅传感器、激光干涉仪等。受到正交组合装配偏差的影...
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