一种小微气体流量发生器的制造方法技术资料下载

技术编号:10532381

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随着国家产业结构转型升级,节能环保意识和对产品质量要求的提高,小微流量 的应用场合越来越多。例如环保领域的粉(烟)尘采样器、安全生产领域中压力容器检漏、 太阳能领域的真空镀膜,都需要用到小微气体流量测量。 目前在小微流量范围还没有高精度的原级标准,因此实验室和企业使用的高精度 小微流量计无法在国内实现量值溯源。例如0~10 mL/min的0.5级气体流量计,因在国内无 法进行校准,只能送到国外进行校准,不仅费用高昂,而且浪费了用户大量的时间成本。 现有技...
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