半导体em测试中铜钽形貌的获得方法及测试样品制备方法技术资料下载

技术编号:10532840

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电迀移(electromigrat1n)是一种由于导体中离子的逐步运动而导致的物质转移现象,其是由导电电子与扩散的金属原子之间的动量转移导致的。当电迀移发生时,一个运动电子的部分动量转移到邻近的激活离子,这会导致该离子离开原始位置。当电流密度较大时,电子在静电场力的驱动下从阴极向阳极定向移动形成电子风(electron wind),进而会引起庞大数量的原子远离它们的原始位置。随着时间推移,电迀移会导致导体,尤其是狭窄的导线中出现断裂或缺口进而导致阻止电的流...
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