技术编号：10533506
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。二氧化碳(C02)激光加工技术己经成功地应用在许多基于光纤加工的微光学器件制备过程中。例如制作长周期光纤光栅、近场扫描探针和熔锥光纤等。石英毛细管虽然内部是空芯但无论从外观和尺寸上还是材质上与光纤很相似，二氧化碳(C02)激光加工技术同样适用于石英毛细管的微加工领域。近年来空心的石英毛细管可广泛用于各种光微流光学器件制备上，例如使其加工成回音壁模式圆形光学微腔和微气泡微腔，与其它光纤器件再进行全光器件组合而构成各种更高灵敏度光电传感器等。因受到工艺限制目前...
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