技术编号：10536736
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在电子束加工过程中，金属材料熔化时总伴随着金属本身及其附带金属和非金属等杂质的气化和蒸发，不可避免地在电子枪内部形成局部低真空区域，在电子束高压加速电场的作用下，产生放电现象(电击穿)，放电现象将破坏电子枪电极表面光洁度，进一步引发放电现象发生的概率。这种“放电”现象对电子束加工设备来说，是随机的、不规则的、不可避免的、更是致命的，它除了缩短电子枪(发射阴极)寿命和破坏电极表面光洁度外，还容易导致电子束流的不可控突增，极易造成工件加工缺陷甚至废品。电子束加...
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