增加共享接触孔工艺窗口的方法技术资料下载

技术编号:10536839

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静态随机存储器(static random access memory SRAM)由于其低操作电压和速度快的特点,广泛的应用在当今的计算机系统和电子产品中。而在同样的存储容量下,SRAM的尺寸相较其它类型的存储器的尺寸更大,为了保证SRAM能获得最大的容量,因此在每一新的技术节点所使用的制造技术中,SRAM都使用到了所能允许的最小尺寸,同时又由于SRAM可以随机访问每个存储单元,可以很方便的失效定位,因此每一新的技术节点制造技术的研发都选用SRAM作为研发...
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