Mim电容器的制造方法及mim电容器的制造方法技术资料下载

技术编号:10536873

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电容元件常用于如射频1C、单片微波1C等集成电路中作为电子无源器件。常见的 电容元件包括金属氧化物半导体(M0S)电容、ΡΝ结电容以及MIM (metal-insulator-metal, 简称Μ頂)电容器等。其中,Μ頂电容器在某些特殊应用中能够提供优于M0S电容器或者PN 结电容器的电学特性,这是由于M0S电容器以及ΡΝ结电容器均受限于其本身结构,在工作 时电极容易产生空穴层,导致其频率特性降低。而Μ頂电容器可以提供较好的频率以及温 度相关特性。 如图...
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