功率半导体器件及其制造方法技术资料下载

技术编号:10536934

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GaN基高电子迁移率晶体管(High Electron Mobility Transistor,简称HEMT)具有高二维电子气浓度(Two Dimens1nal Electron Gas,简称2DEG)和高击穿电压,从而获得了科研机构和工业界的广泛关注。在保持低导通电阻的情况下,使击穿电压尽可能的高是目前GaN基HEMT器件研究的最大的挑战之一。GaN HEMT器件通常为平面型结构,当HEMT器件处于关断状态时,栅极施加负偏压,漏极施加正偏压,源极接地,会...
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